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臭氧消毒機主要用于食品藥品化妝品等行業(yè)的加工車間和類似場所的空氣滅菌和物體表面滅菌。臭氧消毒機按安裝形式可分為：移動式、壁掛式、吊燈式、落地式等。臭氧消毒機在制藥廠GMP車間和HVAC系統(tǒng)配套使用時，通常分為內置式和外置式兩種。使用臭氧發(fā)生器制取臭氧的機器稱為臭氧消毒機，這里臭氧作為消毒劑使用。
電解式臭氧消毒機通常是通過電解純凈水而產生臭氧。這種發(fā)生器能制取高濃度的臭氧水，制造成本低，使用和維修簡單。但由于有臭氧產量無法做大、電極使用壽命短、臭氧不容易收集等方面的缺點，其用途范圍受到限制。這種發(fā)生器只是在一些特定的小型設備上或某些特定場所內使用，不具備取代高壓放電式發(fā)生器的條件。
養(yǎng)殖水處理：養(yǎng)殖水因富含有機物，水質很容易出問題，細菌病毒菌對魚蝦類的傳播也十分猖獗，微納米臭氧在養(yǎng)殖水處理中，除了滅菌和抑制病毒菌對魚蝦的感染、傳播外，還可以降解有機物，降低化學需氧量（COD）和生化需氧量（BOD），又因其助凝作用，對改善水質是一項良好的措施。
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