掃描電鏡圖像的形成需要各個(gè)系統(tǒng)相互配合，電子光學(xué)系統(tǒng)為掃描電鏡提供的電子束，信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)將電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的信號(hào)進(jìn)行采集與處理。電子光學(xué)系統(tǒng)內(nèi)容請(qǐng)參考往期文章，本篇主要對(duì)掃描電鏡的信號(hào)探測(cè)系統(tǒng)進(jìn)行介紹。

掃描電鏡及X射線能譜儀或電子探針為準(zhǔn)確鑒定鋼中非金屬夾雜物屬性提供了非常可靠的技術(shù)，他可以將D類等非金屬夾雜物的二維和三維形貌、與所含元素的X射線元素面分布圖、與其內(nèi)含有元素或所含簡(jiǎn)單氧化物的重量百分?jǐn)?shù)和原子百分?jǐn)?shù)定量分析結(jié)果有機(jī)結(jié)合起來，對(duì)這種D類非金屬夾雜物給出一個(gè)全新的詮釋。由此，作者提出了非金屬夾雜物的相結(jié)構(gòu)概念，用“復(fù)相夾雜物”代替目前常用的“復(fù)雜夾雜物”或“復(fù)合夾雜物”，重新認(rèn)識(shí)這個(gè)對(duì)鋼性能有重要影響的D類非金屬夾雜物，與業(yè)界同行商榷。

掃描電鏡除能檢測(cè)二次電子圖像以外，還能檢測(cè)背散射電子、透射電子、特征x射線、陰極發(fā)光等信號(hào)圖像。其成像原理與二次電子像相同。在進(jìn)行掃描電鏡觀察前，要對(duì)樣品作相應(yīng)的處理。
對(duì)樣品的要求
1、不會(huì)被電子束分解
2、在電子束掃描下熱穩(wěn)定性要好
3、能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道
4、大小與厚度要適于樣品臺(tái)的安裝
5、觀察面應(yīng)該清潔，物
6、進(jìn)行微區(qū)成分分析的表面應(yīng)平整
7、磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場(chǎng)的影響

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