充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)主要運(yùn)用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進(jìn)行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速，因?yàn)?在更改成像參數(shù)后無需進(jìn)行校準(zhǔn)，而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。
全套探測系統(tǒng)： 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測系統(tǒng)有大量不同 的探測器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測器、 Inlens 二次電子探測器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測器獲取樣品 材料、表面形貌或結(jié)晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產(chǎn)生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設(shè) 計的電子束推進(jìn)器向后加速進(jìn)入鏡筒，并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內(nèi)探測二次電子。
強(qiáng)化顯微鏡系統(tǒng)
蔡司顯微鏡系統(tǒng)可采用多種方式升級：開放式的升級界面讓您一直保持較高的技術(shù)水準(zhǔn)。當(dāng)新 升級的裝備付諸應(yīng)用時，不僅能延長顯微鏡的使用壽命，還能提高工作效率。
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