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本發(fā)明可通過加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置將外部加料器移出工作位并旋開，進(jìn)而方便拆爐和清理，本發(fā)明的加料器升降驅(qū)動裝置和加料器旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置配上工裝還可以吊裝主爐室的零部件；、本發(fā)明可通過副爐室升降驅(qū)動裝置和副爐室旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置驅(qū)動副爐室移動，并在副爐室移取晶位的過程中，通過電動接晶托防止晶棒掉落，安全；、當(dāng)不再繼續(xù)加料時，通過化料器升降驅(qū)動裝置將外部化料器提升不干涉主爐室坩堝上升的位置，并通過化料器旋臂的旋轉(zhuǎn)旋開外部化料器，進(jìn)而方便拆爐和清理；、本發(fā)明通過減震裝置對下驅(qū)動裝置進(jìn)行減震，使拉晶時下驅(qū)動裝置不受外界震動影響，進(jìn)而保晶棒質(zhì)量。藍(lán)寶石長晶爐回收，多晶硅鑄錠爐回收，提拉式長晶爐回收，多晶長晶爐回收，臥式長晶爐回收，拉式單晶爐、收購直拉式單晶爐-85型/90型/95型/100型種種整套單晶回收提爐裝備、分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，因此,避免提拉系統(tǒng)的晃動是單晶爐結(jié)構(gòu)設(shè)計的關(guān)鍵點之一。在生產(chǎn)實際中發(fā)現(xiàn),某型號單晶爐的提拉系統(tǒng)在工作轉(zhuǎn)速接近13~14r/min范圍時,提拉系統(tǒng)的軟軸會出現(xiàn)明顯的晃動,這個問題一直制約著晶體生長的質(zhì)量和生產(chǎn)效率的提高。以前雖然提出過很多的解決措施,但其效果均不明顯。本文擬采用有限元分析的方法,對單晶爐的提拉系統(tǒng)進(jìn)行分析,找出引起提拉系統(tǒng)軟軸晃動

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其中,直接有效的方法是提高生產(chǎn)時效,增加單爐的月產(chǎn)能。筆者長期從事單晶生產(chǎn)工作,經(jīng)調(diào)研與現(xiàn)場試驗,采用離線裝料技術(shù)不僅可以縮短運行周期、提高工作效率,而且可以確保坩堝內(nèi)所裝硅料的潔凈度,具有較強的實用性和經(jīng)濟(jì)推廣價值。1離線裝料的工作原理使用一個真空吸盤和一個特制的密封圈與裝滿多晶硅原生料的石英坩堝密封,

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