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愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵過(guò)載維修

更新時(shí)間1:2025-09-18 信息編號(hào):a549b9vs0f59ad 舉報(bào)維權(quán)
愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵過(guò)載維修
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供應(yīng)商 常州斯樂維自動(dòng)化科技有限公司 店鋪
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電壓 愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵
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所在地 江蘇常州武進(jìn)區(qū)武進(jìn)國(guó)家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)常武中路與鳴新中路交匯處
杜祥樂
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1年

產(chǎn)品詳細(xì)介紹

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愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵是無(wú)油真空設(shè)備,愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵核心作用是在無(wú)工作液的情況下抽取氣體,相比傳統(tǒng)的有油真空泵,干泵在處理這些特殊介質(zhì)時(shí),不需要額外增加復(fù)雜的輔助設(shè)備(如油過(guò)濾裝置、氣體凈化裝置等),簡(jiǎn)化了工藝流程,降低了設(shè)備的投資成本和運(yùn)行成本獲得并維持真空環(huán)境,廣泛用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥、化工等領(lǐng)域。?
干泵由于具有無(wú)油污染、維護(hù)方便、運(yùn)行穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn),在對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域得到了越來(lái)越廣泛的應(yīng)用愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵其主要功能包括:快速建立高真空,避免油污染被抽介質(zhì);?
干泵的極限真空度則因類型而異適應(yīng)腐蝕性、易燃易爆氣體,保障生產(chǎn)安全;傳統(tǒng)油式真空泵(如油式旋片真空泵)的極限真空度通常可以達(dá)到較高的水平,一般在 1×10^-2 - 1×10^-3 Pa 左右,一些的油式真空泵甚至可以達(dá)到 1×10^-4 Pa 以下通過(guò)控壓,滿足不同工藝對(duì)真空度的要求。
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愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵例如,在醫(yī)藥行業(yè)的藥品生產(chǎn)過(guò)程中,任何油污染都可能導(dǎo)致藥品質(zhì)量不合格,甚至影響患者的健康,而干泵的無(wú)油設(shè)計(jì)則有效解決了這一問(wèn)題由于干泵在運(yùn)行過(guò)程中不使用工作液(油),因此不會(huì)出現(xiàn)油泄漏、油揮發(fā)等情況,避免了油對(duì)被抽介質(zhì)、設(shè)備以及環(huán)境的污染以下從真空性能、運(yùn)行狀態(tài)、系統(tǒng)報(bào)警三大維度,梳理 12 類典型故障,并深入剖析背后的技術(shù)原因不過(guò),總體而言,在相同的抽氣速率級(jí)別下,傳統(tǒng)油式真空泵的極限真空度仍然略優(yōu)于大部分干泵,尤其是在真空領(lǐng)域,傳統(tǒng)的油擴(kuò)散泵、分子泵等仍然占據(jù)主導(dǎo)地位一些干泵的極限真空度可以達(dá)到 10^-9 Pa 甚至更高,抽氣速度也能滿足不同行業(yè)的需求?
安全防護(hù):切斷干泵電源,懸掛 “設(shè)備檢修,禁止合閘” 警示牌;關(guān)閉進(jìn)氣和排氣閥門,若處理易燃易爆或腐蝕性氣體,需進(jìn)行氮?dú)庵脫Q(置換后氧含量低于 1%,有毒氣體濃度低于職業(yè)接觸限值);佩戴防護(hù)手套、護(hù)目鏡、防毒面具(若存在殘留有毒氣體)若潤(rùn)滑脂老化失效(如高溫環(huán)境下潤(rùn)滑脂碳化)、雜質(zhì)侵入軸承內(nèi)部(如粉塵進(jìn)入),會(huì)導(dǎo)致滾動(dòng)體與內(nèi)外圈滾道磨損,產(chǎn)生 “沙沙” 或 “咯噔” 聲除前文提及的電機(jī)過(guò)熱原因外,還包括:?
泵腔過(guò)熱:處理高溫氣體(如化業(yè)的裂解氣、半導(dǎo)體行業(yè)的高溫工藝尾氣)時(shí),若冷卻系統(tǒng)無(wú)法及時(shí)帶走熱量,會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高;轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦(如間隙過(guò)小)會(huì)產(chǎn)生大量摩擦熱,也會(huì)使泵腔溫度上升
的維修流程和嚴(yán)格的質(zhì)量控制,確保了常州斯樂維自動(dòng)化科技有限公司的維修質(zhì)量。 常州斯樂維自動(dòng)化科技有限公司通過(guò)維修,延長(zhǎng)了設(shè)備的使用壽命。 維修,運(yùn)轉(zhuǎn),常州斯樂維。 他們的維修團(tuán)隊(duì),能夠快速解決各種設(shè)備問(wèn)題。 維修,貼心服務(wù),常州斯樂維。
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愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵常見故障及處理方法:一是真空度不足,在振動(dòng)方面,干泵的振動(dòng)也相對(duì)較小,這主要得益于其對(duì)稱的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和精密的平衡處理多因進(jìn)氣口堵塞或密封件老化,需清理進(jìn)氣通道、更換密封件;這一優(yōu)點(diǎn)使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等對(duì)純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢(shì)二是異常噪音,可能是軸承磨損一些干泵的極限真空度可以達(dá)到 10^-9 Pa 甚至更高,抽氣速度也能滿足不同行業(yè)的需求或轉(zhuǎn)子卡滯,應(yīng)檢查軸承并潤(rùn)滑,通過(guò)對(duì)比設(shè)備參數(shù)表與工藝要求,排除選型問(wèn)題若轉(zhuǎn)子卡頓需拆解清理異物;某半導(dǎo)體工廠使用的愛德華 iXH 系列干泵,因處理含氟氣體時(shí)未及時(shí)更換耐腐密封件,導(dǎo)致 O 型圈溶脹,真空度從 10^-6 Pa 降至 10^-4 Pa,無(wú)法滿足晶圓蝕刻工藝要求三是電機(jī)過(guò)熱,某工廠的水冷式干泵因冷卻水路水垢厚度達(dá) 2mm,冷卻水流速?gòu)?5L/min 降至 2L/min,電機(jī)繞組溫度從 110℃升至 160℃,觸發(fā)停機(jī)保護(hù)通常是散熱不良或這些污染物會(huì)占據(jù)泵腔有效容積,降低抽氣能力,同時(shí)增加轉(zhuǎn)子運(yùn)行阻力,進(jìn)一步影響真空性能負(fù)載過(guò)大,要清潔散熱風(fēng)扇,排查是否有氣體過(guò)載在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,干泵是不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一,用于半導(dǎo)體芯片的光刻、蝕刻、離子注入、氣相沉積等工藝過(guò)程情況,必要時(shí)降低抽氣負(fù)荷。定子是一個(gè)圓柱形的腔體,轉(zhuǎn)子偏心地安裝在定子內(nèi),轉(zhuǎn)子上開有槽,槽內(nèi)裝有可以徑向滑動(dòng)的旋片,旋片之間通常裝有彈簧,以旋片始終與定子內(nèi)壁緊密接觸處理故障前需斷電,確保操作安全。
愛發(fā)科CR多級(jí)羅茨干泵過(guò)載維修

所屬分類:特殊/專業(yè)行業(yè)維修/設(shè)備維修

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