產(chǎn)品別名 |
探針臂,FV-2,探針臺(tái)測(cè)試,探針臂接口 |
面向地區(qū) |
探針臺(tái)如何工作？
探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并定位待測(cè)物。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中，并使用顯微鏡將探針放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針都被設(shè)置在正確的位置，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試。
對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤，壓盤將探針頭與芯片分開，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到的位置，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺來自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率。半導(dǎo)體測(cè)試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類：驗(yàn)證測(cè)試、晶圓測(cè)試測(cè)試、封裝檢測(cè)。
探針臺(tái)主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測(cè)、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。除探針臺(tái)外，晶圓檢測(cè)環(huán)節(jié)還需要使用測(cè)試儀/機(jī)，測(cè)試儀/機(jī)用于檢測(cè)芯片功能和性能，探針臺(tái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)芯片與測(cè)試機(jī)的連接，通過探針臺(tái)和測(cè)試機(jī)的配合使用，可以對(duì)晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測(cè)試或射頻測(cè)試，可以對(duì)芯片的良品、不良品的進(jìn)行篩選。
FV系列高低溫真空探針臺(tái) | ||||
功能/型號(hào) | FV-2 | FV-4 | FV-6 | |
腔體 | 樣品臺(tái)尺寸 | 2英寸 | 4英寸 | 6英寸 |
觀察窗 | 高透石英玻璃 | |||
真空度 | 優(yōu)于2*10E-3Pa | |||
探針臂接口 | 4個(gè) | 6個(gè) | ||
KF接口 | 2個(gè)KF40接口、2個(gè)KF25接口、1個(gè)KF16接口 | |||
冷源接口 | CF接口，同軸方式 | |||
溫度控制 | 溫度范圍 | -196℃-200℃，可升級(jí)更高溫度 | ||
溫控精度 | 1℃/0.1℃/0.01℃ | |||
溫度穩(wěn)定性 | ±1℃/±0.1℃/±0.01℃ | |||
制冷 | 液氮/制冷機(jī) | |||
加熱 | 直流加熱 | |||
顯微鏡系統(tǒng) | 顯微鏡類型 | 單筒顯微鏡、體視顯微鏡、金相顯微鏡 | ||
放大倍率 | 400X | |||
固定方式 | 讓立柱旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)、龍門架固定結(jié)構(gòu) | |||
探針臂 | 數(shù)量 | 多4個(gè) | 多6個(gè) | |
XYZ移動(dòng)行程 | 50mm*10mm*10mm | 100mm*50mm*25mm | ||
移動(dòng)精度 | 2um | |||
測(cè)試接頭 | 三軸接頭/射頻接頭 | |||
探針 | 鎢鋼/鈹銅材質(zhì)，針尖半徑可選 | |||
真空配件 | 分子泵 | 極限真空度10E-4Pa | ||
機(jī)械泵 | 極限真空度10E-1Pa | |||
附件 | KF25波紋管、KF40卡箍、KF25卡箍、KF16放氣閥 | |||
可搭配儀器 | 源表/半導(dǎo)體參數(shù)分析儀/萬用表/示波器/網(wǎng)絡(luò)分析儀等 | |||
其他附件 | 射頻配件、光學(xué)平臺(tái)、激光器、光纖、轉(zhuǎn)接頭、轉(zhuǎn)接線 | |||
公司所有產(chǎn)品出廠都經(jīng)過嚴(yán)格測(cè)試，產(chǎn)品質(zhì)量，公司所有產(chǎn)品通過CE認(rèn)證，通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證。
