用途
無塵工業(yè)烤箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。

無塵工業(yè)烤箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一般的電熱真空無塵干燥箱都采用先加熱真空室壁面、再由壁面向工件進行輻射加熱的方式。在這種方式下，控溫儀表的溫度傳感器可以布置在真空室外壁。傳感器可以同時接受對流、傳導、和輻射熱。而處于真空室里的玻璃棒溫度計只能接受輻射熱，更由于玻璃棒黑度不可能達到1，相當一部分輻射熱被折射了，因此玻璃棒溫度計反映的溫度值就肯定低于儀表的溫度讀數(shù)。一般講，200℃工況時儀表的溫度讀數(shù)與玻璃棒溫度計的讀數(shù)兩者相差30℃以內(nèi)是正常的。如果控溫儀表的溫度傳感器布置在真空室內(nèi)，玻璃棒溫度計的溫度值與儀表的溫度讀數(shù)之間的差異可以適當縮小，但不可能消除，而真空室的密封可靠性增加了一個可能不可靠環(huán)節(jié)。如果從操作實用角度考慮不希望看到這個差異，可以采用控溫儀表特有的顯示修正功能解決。

無塵潔凈烘箱由外殼、烘烤區(qū)、加熱系統(tǒng)、轉(zhuǎn)子流量計，氣體減壓調(diào)節(jié)閥、排氣口等部件組成。箱體由簿鋼板加工焊接而成、烘烤區(qū)內(nèi)壁選用不銹鋼板、箱體與內(nèi)室之間填充硅酸鋁纖維作保溫材料。箱門與烘烤區(qū)邊框裝有保溫密封條(耐高溫門封條和迫緊裝置)因此有效地了箱體的密封性能、節(jié)約氮氣，洪烤區(qū)內(nèi)配置抽動的三層載物網(wǎng)板( 可按需設(shè)計)。

無塵高溫箱系列用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

加熱1、加熱步驟在氣壓穩(wěn)定狀態(tài)下進行，否則易導致內(nèi)外壓強及溫度差，造成外部大氣沖入箱內(nèi)等突發(fā)狀況；2、升溫過程中，加熱指示燈長亮，達到設(shè)置溫度后，加熱自動停止，同時指示燈熄滅。待溫度低于設(shè)置溫度時，加熱再次啟動，加熱指示燈亮；3、加熱指示燈及溫度需正常顯示，若指示燈不亮需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人。

溫度設(shè)置1、設(shè)置溫度不可超過額定溫度，真空下物料燃點、沸點驟降，設(shè)置溫度不合理會造成固態(tài)物料熔融結(jié)塊等現(xiàn)象；2、數(shù)顯溫度需正常指示，若不顯示或出現(xiàn)閃爍、跳躍等異常需及時關(guān)閉電源并聯(lián)系儀器負責人；3、操作人員需待實際溫度與設(shè)置溫度一致，加熱指示燈熄滅后，方可離開；4、為避免控溫失靈，需有專人定時查看儀器運行是否正常，并留意烘烤物料變化情況，若發(fā)現(xiàn)異常需第D一時間關(guān)閉加熱、切斷電源、打開放氣閥門。