晶圓在加工過程中,需要對其進(jìn)行劃片處理,目前現(xiàn)有的晶圓劃片設(shè)備村子按以下不足:1、晶圓初的放置隨意性較大,影響后續(xù)晶圓的對正工作;2、每次只能對晶圓的一個表面進(jìn)行劃片處理,導(dǎo)致正反面劃片的深度難以控制,增加了后期打磨的工作。
硅圓片切割應(yīng)用的目的是將產(chǎn)量和合格率大,同時資產(chǎn)擁有的成本小。可是,挑戰(zhàn)是增加的產(chǎn)量經(jīng)常減少合格率,反之亦然。晶圓基板進(jìn)給到切割刀片的速度決定產(chǎn)出。隨著進(jìn)給速度增加,切割品質(zhì)變得更加難以維持在可接受的工藝窗口內(nèi)。進(jìn)給速度也影響刀片壽命。
為了接收今天新的切片挑戰(zhàn),切片系統(tǒng)與刀片之間的協(xié)作是必要的。對于(high-end)應(yīng)用特別如此。刀片在工藝優(yōu)化中起主要的作用。為了接納所有來自于迅速的技術(shù)發(fā)展的新的切片要求,今天可以買到各種各樣的刀片。這使得為正確的工藝選擇正確的刀片成為一個比以前更加復(fù)雜的任務(wù)。