BN303系列紫外負(fù)型光刻膠是一類采用寬譜紫外線曝光的負(fù)性光刻膠,主要用于中小規(guī)模集成電路、分立器件及其它微型器件的制作?!”井a(chǎn)品粘度可以在29-100mPa.s范圍內(nèi)調(diào)整, 覆蓋光刻膠膜厚范圍0.85-2.1um. 實用分辨率可達(dá)5μm, 在多種基片上均有良好的粘附性,抗?jié)穹ǜg性能良好。
BN308系列紫外負(fù)型光刻膠是一類采用寬譜紫外線曝光的負(fù)性光刻膠,主要用于分立器件及其它微型器件的制作。本產(chǎn)品粘度可以在140-500mPa.s范圍內(nèi)調(diào)整, 覆蓋光刻膠膜厚范圍2.2-6um. 實用分辨率可達(dá)8μm, 在多種基片上均有良好的粘附性,抗?jié)穹ǜg性能
KMP BP212系列光刻膠是用于分立器件的寬譜正性光刻膠,適用于寬譜、G線及I線曝光,為酚醛樹脂/重氮萘醌體系,本系列產(chǎn)品有不同的粘度,可以覆蓋膜厚從0.75um到2.5um,具有分辨率高、感光速度快及工藝窗口大等優(yōu)點。