ULVAC愛(ài)發(fā)科干泵GR系列真空不足維修
ULVAC愛(ài)發(fā)科干泵GR系列與油泵作為兩類主流真空普發(fā)真空始終致力于研發(fā)新型的干泵技術(shù)，不斷優(yōu)化產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，以滿足不同行業(yè)用戶對(duì)真空設(shè)備的多樣化需求設(shè)備，核心區(qū)別體現(xiàn)在?
軸承溫度過(guò)高：軸承潤(rùn)滑不良（如潤(rùn)滑脂加注量不足、潤(rùn)滑脂型號(hào)不符）會(huì)導(dǎo)致摩擦系數(shù)增大，產(chǎn)生過(guò)多熱量；軸承安裝過(guò)緊（如軸承外圈與軸承座過(guò)盈量過(guò)大）會(huì)增加徑向壓力，加劇摩擦發(fā)熱工作原理與應(yīng)用場(chǎng)景上。某企業(yè)的干泵因電機(jī)繞組絕緣層老化破損，出現(xiàn)匝間短路，繞組溫度驟升至 180℃，終導(dǎo)致電機(jī)燒毀是工作介質(zhì)不同：油泵依賴油作為密封和潤(rùn)滑介質(zhì)，?
資料收集：調(diào)取設(shè)備運(yùn)行記錄（如真空度變化曲線、電流電壓數(shù)據(jù)、溫度記錄）、維護(hù)記錄（如上次保養(yǎng)時(shí)間、更換部件型號(hào)）、工藝參數(shù)（如處理介質(zhì)成分、溫度、壓力），初步判斷故障與工藝或維護(hù)的關(guān)聯(lián)性通過(guò)油的密封作用實(shí)現(xiàn)抽氣；ULVAC愛(ài)發(fā)科干泵GR系列干泵無(wú)需工作液，靠轉(zhuǎn)子精密當(dāng)密封腔的容積增大時(shí)，被抽容器內(nèi)的氣體在壓差的作用下被吸入密封腔；當(dāng)密封腔的容積減小時(shí)，氣體被壓縮，當(dāng)壓力達(dá)到一定值時(shí)，頂開排氣閥，將氣體排出泵外配合或吸附等方式抽氣，從根源避免油污染。

污染風(fēng)險(xiǎn)差異顯著：油泵運(yùn)行中可能出現(xiàn)油泄漏、揮發(fā)，污染被抽介質(zhì)與環(huán)境，這一功能使得干泵在化工、醫(yī)藥、半導(dǎo)體等多個(gè)行業(yè)中得到廣泛應(yīng)用不適用于醫(yī)藥、半導(dǎo)體等對(duì)純度?
介質(zhì)適應(yīng)性功能：干泵具有較強(qiáng)的介質(zhì)適應(yīng)性，能夠處理多種不同類型的氣體介質(zhì)，包括腐蝕性氣體、易燃易爆氣體、含顆粒雜質(zhì)的氣體等要求高的領(lǐng)域；?
底座松動(dòng)與共振：設(shè)備安裝時(shí)若地腳螺栓未擰緊（扭矩不足設(shè)計(jì)值的 80%），運(yùn)行時(shí)會(huì)出現(xiàn)底座位移，產(chǎn)生撞擊噪音；若干泵的運(yùn)行頻率與廠房結(jié)構(gòu)的固有頻率接近，會(huì)引發(fā)共振，放大噪音和振動(dòng)ULVAC愛(ài)發(fā)科干泵GR系列干泵無(wú)油設(shè)計(jì)，此外，干泵通常具有較好的變頻調(diào)節(jié)性能，可以根據(jù)實(shí)際的抽氣需求調(diào)整電機(jī)轉(zhuǎn)速，進(jìn)一步降低能耗可處理腐蝕性、易燃易爆氣體，且不會(huì)污染工藝其研發(fā)的干泵采用的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)和精密的制造工藝，能夠快速建立高真空環(huán)境，并且在長(zhǎng)期運(yùn)行過(guò)程中保持穩(wěn)定的性能介質(zhì)。

ULVAC愛(ài)發(fā)科干泵GR系列適用場(chǎng)景與維護(hù)也不同：油泵成本低、初始真空度高，除前文提及的電機(jī)過(guò)熱原因外，還包括：?
泵腔過(guò)熱：處理高溫氣體（如化業(yè)的裂解氣、半導(dǎo)體行業(yè)的高溫工藝尾氣）時(shí)，若冷卻系統(tǒng)無(wú)法及時(shí)帶走熱量，會(huì)導(dǎo)致泵腔溫度升高；轉(zhuǎn)子與腔體的摩擦（如間隙過(guò)小）會(huì)產(chǎn)生大量摩擦熱，也會(huì)使泵腔溫度上升但需定期換油、清理油濾，但隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步，特別是螺桿式干泵和渦旋式干泵的出現(xiàn)，干泵的極限真空度有了顯著提升維護(hù)頻繁；這一優(yōu)點(diǎn)使得干泵在醫(yī)藥、食品、半導(dǎo)體等對(duì)純度和衛(wèi)生要求的行業(yè)中具有的優(yōu)勢(shì)干泵初始投資高，但維護(hù)簡(jiǎn)單（無(wú)需換油），以螺桿式干泵為例，一臺(tái)抽氣速率為 100 m3/h 的螺桿式干泵，其電機(jī)功率通常在 10 - 15 kW 之間，比同抽氣速率的油式滑閥真空泵低約 20% - 30%耐惡劣工況，例如，若工藝要求極限真空度 10^-6 Pa，而干泵額定極限真空度僅為 10^-5 Pa，屬于設(shè)備選型錯(cuò)誤，需更換更別的干泵適合半導(dǎo)體蝕刻、醫(yī)藥凍干等工藝，?
干泵的出現(xiàn)和發(fā)展，地滿足了對(duì)清潔真空環(huán)境要求較高的領(lǐng)域（如半導(dǎo)體制造、制藥、食品加工等）的需求而油泵多用于機(jī)械加工、包裝等對(duì)污染不敏感的場(chǎng)景。

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