刀片切割是指利用金剛石刀片對晶圓進行切割的工藝,這是一種純粹的物理切割來分裂晶圓,一般厚度100um以上的晶圓適用于該劃片方式。金剛石刀片在高速旋轉(zhuǎn)時沿切割道移動,將晶圓完全切透,同時會使用水來冷卻刀片和晶圓,減少熱損傷以及帶走切割產(chǎn)生的碎屑。
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劃片機一般提供兩種切割模式,單刀切割(Single Cut)和臺階式切割(Step Cut),實驗證明,劃片刀的設(shè)計不可能同時滿足正面崩角、分層及背面崩角的質(zhì)量控制的要求。這個結(jié)論對于晶圓厚度大于7 mil的低k晶圓尤為適用。為了減小正面金屬層與ILD層的分層,薄劃片刀會被采用,若晶圓較厚,則需選取刀鋒較長的刀片。但須注意,具有較高刀鋒/刀寬比的劃片刀在切割時會產(chǎn)生擺動,反而會造成較大的正面分層及背面崩角。
半導(dǎo)體晶圓切割用劃片刀頭在切割時,線速度是一個非常重要的參數(shù),可以直接影響到切割效率和切割質(zhì)量。 以下是關(guān)于金剛石刀頭切割過程中線速度的介紹: 線速度是指切割線每分鐘旋轉(zhuǎn)的圈數(shù),單位為m/min。 線速度過快,金剛石顆粒就會被削短,使刀頭變鈍,而且金剛石顆粒很容易掉落,影響切割質(zhì)量。 線速度過慢,刀頭會過度磨損,切割效率低下。 金剛石刀頭切割時,應(yīng)根據(jù)不同的材料選擇合適的線速度。
半導(dǎo)體晶圓切割用劃片刀頭在切割時,線速度是一個非常重要的參數(shù),可以直接影響到切割效率和切割質(zhì)量。 以下是關(guān)于金剛石刀頭切割過程中線速度的介紹: 線速度是指切割線每分鐘旋轉(zhuǎn)的圈數(shù),單位為m/min。 線速度過快,金剛石顆粒就會被削短,使刀頭變鈍,而且金剛石顆粒很容易掉落,影響切割質(zhì)量。 線速度過慢,刀頭會過度磨損,切割效率低下。 金剛石刀頭切割時,應(yīng)根據(jù)不同的材料選擇合適的線速度。
MEMS導(dǎo)電膠 絕緣膠 低應(yīng)力膠2025D 84-1LMI JM7000
厚膜導(dǎo)電膠84-1A 84-1LMI 84-1LMIT1 JM7000 84-3 2025D
厚膜電路膠膜 506膠膜 5020膠膜 厚膜電路灌封膠 厚膜電路用膠 IGBT灌封膠
84-3J絕緣膠 芯片絕緣膠 樂泰導(dǎo)電膠 樂泰三防漆3900, 樂泰絕緣膠,芯片封裝膠,
光纖膠,光耦膠,電路灌封膠,傳感器灌封膠,電源灌封膠,樂泰UF3808底部填充膠 底部填充劑 微波器件導(dǎo)電膠,低應(yīng)力底部填充膠,高導(dǎo)熱灌封膠,BGA底部填充劑,BGA導(dǎo)熱膠,DAF膜,F(xiàn)OW膠膜,DAF膠膜,導(dǎo)電膠膜,導(dǎo)熱膠膜,芯片膠膜,封裝膠膜,IC膠膜,晶圓膠膜,UF1173射頻器件底部填充膠,高頻傳輸膠,相位膠,5G底部填充膠,基站膠。
通常在切割前會在晶圓背部貼上UV膜或藍(lán)膜,之后將貼有UV膜的晶圓放入劃片機中,設(shè)置好程序開始劃片,劃片結(jié)束后拿出晶圓,進行解UV等工序。藍(lán)膜成本較低,但是需要通過機械手段+溫度輔助才能將芯片剝離;而UV膜粘性可以通過紫外線照射來改變。在劃片完成后,晶圓被暴露在紫外光下,這使得膜的粘性降低,從而容易地剝離芯片。
顆粒越大,刀片壽命越長;顆粒越小,刀片壽命越短。 顆粒集中度的影響 顆粒集中度對劃片質(zhì)量也非常關(guān)鍵。 關(guān)于相同的金剛石顆粒大小會消費出不同集中度的刀片,劃片效果也會有很大差別。 目前,劃片刀常見有5種規(guī)格,分別是:50、70、90、110、130。 依據(jù)實踐測試得出,高集中度的金剛石顆粒,劃片阻力小,劃片速度快,,還能夠延長劃片刀的壽命,減少晶圓正面崩缺