Gemini 物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)合了靜電場與磁場， 在提升光學(xué)性能的同時(shí)將它們對樣品的影 響降至低。因此，即便是要求苛刻的樣 品 —— 如磁性材料，也能進(jìn)行成像。 在 Gemini 鏡筒設(shè)計(jì)理念中， Inlens 用二次 電子( SE ) 和背散射電子( BSE ) 探測器來 確保的信號檢測。

充分發(fā)揮 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)的性能優(yōu)勢
GeminiSEM 460 的 特 殊 之 處 在 于 配 備 的 Gemini 2 型光學(xué)系統(tǒng)主要運(yùn)用了雙聚光鏡， 在獲得理想的小電子束斑同時(shí)可連續(xù)調(diào)節(jié)束 流。這使高電子束能量密度下的低束流高分 辨率成像和高束流分析得到了。此外， 您也可以在不同的成像模式之間進(jìn)行無縫切 換或更改成像參數(shù)。此操作簡便快速，因?yàn)?在更改成像參數(shù)后無需進(jìn)行校準(zhǔn)，而且經(jīng)調(diào) 校的掃描電鏡可以保持穩(wěn)定地工作。

Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計(jì)，它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達(dá)到高分 辨率。它由兩個協(xié)同工作的組件組成，即 Nano-twin 物鏡和智能自動光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢也可以為您提供良好的圖像襯度，讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。

? 通過 Nano-twin 物鏡實(shí)現(xiàn)低電壓下的優(yōu) 化高分辨率
? 通過新的大視野概覽模式實(shí)現(xiàn)樣品導(dǎo)航和 高分辨率成像之間的無縫過渡
? 通過新的自動聚焦功能和新的快速鏡筒對 中算法實(shí)現(xiàn)高速優(yōu)化圖像質(zhì)量。

智能自動光路調(diào)節(jié)優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌 跡，從而確保了在每個加速電壓下盡可能高 的分辨率。它還引入了新的自動功能，在整 個放大倍數(shù)范圍內(nèi)(從 1 倍到 2,000,000 倍) 實(shí)現(xiàn)無縫對準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增 加了 10 倍，從而可以在單幅圖像中完整成 像 13 厘米的物體。GeminiSEM 560 保持了 市場上尺寸達(dá) 32k × 24k 的超大圖像存儲像素， 在大視野無畸變拼接成像方面優(yōu)勢。

背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下，可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射， 被 Gemini 鏡筒電子束推進(jìn)器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量，它們會在電 子束推進(jìn)器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。

大部分的背 散射電子能夠穿過 Inlens SE 探測器，并被 EsB 探測器收集。此外， Inlens EsB 探測器 還可有選擇地收集不同能量的背散射電子。 如果出射角大于 15 度， 則 BSE 無法進(jìn)入鏡 筒，但會被 AsB (角度選擇背散射) 或可 抽插式 aBSD 探測器探測到。aBSD 探測器 能夠提供樣品的成分襯度、形貌和 3D 表面 信息。樣品室背散射電子探測器( BSD )和 掃描透射電子探測器可以在低加速電壓下 擁有更率，且能實(shí)現(xiàn)超速成像。

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擴(kuò)展功能
■ 與蔡司電鏡可實(shí)現(xiàn)聯(lián)用, 實(shí)現(xiàn)樣品的多尺 度多維度研究;
■ 搭載第三方配件, 如冷熱臺, 拉伸臺, 實(shí) 現(xiàn)樣品原位 4D 分析;
■ 搭載 Airyscan 實(shí)現(xiàn)高分辨熒光成像;
■ 配置 ZEN Intellesis 軟件提供基于機(jī)器學(xué)習(xí) 的圖像分割解決方案,可用于鑒別復(fù)雜樣 品的不同相組織。