Inlens 探測(cè)器均放置 在鏡筒內(nèi)正光軸上， 在減少重新校準(zhǔn)耗時(shí) 的同時(shí)有效地縮短了獲取圖像的時(shí)間。 Gemini 電子束推進(jìn)器技術(shù)可以在非常 低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。
此外， 它確保了電子束在鏡筒中運(yùn)動(dòng)時(shí)始 終保持高加速電壓， 直至出鏡筒后才減速 至設(shè)定電壓， 更大程度地減小外部雜散磁 場(chǎng)對(duì)系統(tǒng)靈敏度的影響。GeminiSEM 360 、 GeminiSEM 460 和 GeminiSEM 560 三 者 均 應(yīng)用了 Gemini 設(shè)計(jì)、 Inlens 探測(cè)器和電子 束推進(jìn)器技術(shù)。

智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)優(yōu)化了通過鏡筒的電子軌 跡，從而確保了在每個(gè)加速電壓下盡可能高 的分辨率。它還引入了新的自動(dòng)功能，在整 個(gè)放大倍數(shù)范圍內(nèi)(從 1 倍到 2,000,000 倍) 實(shí)現(xiàn)無縫對(duì)準(zhǔn)自由切換，并將觀察視野增 加了 10 倍，從而可以在單幅圖像中完整成 像 13 厘米的物體。GeminiSEM 560 保持了 市場(chǎng)上尺寸達(dá) 32k × 24k 的超大圖像存儲(chǔ)像素， 在大視野無畸變拼接成像方面優(yōu)勢(shì)。

全套探測(cè)系統(tǒng)： 根據(jù)出射能量和出射角選 擇性地探測(cè)樣品的電子
GeminiSEM 系列的全套探測(cè)系統(tǒng)有大量不同 的探測(cè)器可供選配。通過組合 EsB (能量選 擇背散射) 探測(cè)器、 Inlens 二次電子探測(cè)器 及 AsB (角度選擇背散射) 探測(cè)器獲取樣品 材料、表面形貌或結(jié)晶度的信息。入射電子 與樣品作用后可產(chǎn)生二次電子( SE ) 和背散 射電子( BSE )。從納米級(jí)樣品表面逃逸出的、 能量小于 50 eV 的二次電子可用來表征樣 品的表面形貌。這些二次電子可通過特設(shè) 計(jì)的電子束推進(jìn)器向后加速進(jìn)入鏡筒，并經(jīng) Gemini 物鏡投射到環(huán)形 Inlens 二次電子探測(cè) 器里。 GeminiSEM 可根據(jù)樣品的表面條件在 寬角度范圍內(nèi)探測(cè)二次電子。

強(qiáng)化顯微鏡系統(tǒng)
蔡司顯微鏡系統(tǒng)可采用多種方式升級(jí)：開放式的升級(jí)界面讓您一直保持較高的技術(shù)水準(zhǔn)。當(dāng)新 升級(jí)的裝備付諸應(yīng)用時(shí)，不僅能延長(zhǎng)顯微鏡的使用壽命，還能提高工作效率。

在工業(yè)質(zhì)量、失效分析或研究環(huán)境中，由于掃描電子顯微鏡 可提供高分辨率成像和高空間分辨率元素化學(xué)信息，所以它
是金相學(xué)和失效分析應(yīng)用的理想之選。

成像靈活.光學(xué)顯微鏡和共聚焦顯微鏡二合一
■ 實(shí)現(xiàn)反射光和透射光的觀察, 同時(shí)也可進(jìn) 行形貌表征;
■ 使用寬場(chǎng)觀察方式實(shí)現(xiàn)樣品的定位, 便于 共聚焦顯微鏡進(jìn)—步原位分析;
■ 無需切換顯微鏡, 減少儀器設(shè)置時(shí)間, 提 高獲得結(jié)果的效率。