壓力傳感器的誤差主要由偏移量誤差、靈敏度誤差、線性誤差和滯后誤差構(gòu)成:
1、靈敏度誤差,產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比。如果設(shè)備的靈敏度典型值,靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù)。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴散過程的變化。 。
2、偏移量誤差。由于在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定,因此變換器擴散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差。
3、滯后誤差:在大多數(shù)情形中,滯后誤差完全可以忽略不計,因為硅片具有很高的機械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差。
4、線性誤差。這是一個對初始誤差影響較小的因素,該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性,但對于帶放大器的傳感器,還應(yīng)包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線。
壓力傳感器在自動化設(shè)備上的應(yīng)用是廣泛的,熱壓機、化成機、貼合機等等都會用到很多的壓力傳感器,甚至有的一臺機用到幾十個壓力傳感器,壓力傳感器種類結(jié)構(gòu)繁多,選型的時候要注意選擇合適的結(jié)構(gòu)以方便安裝使用。
:壓力傳感器可以提供的壓力測量數(shù)據(jù),可以達到的測量要求。
6年