石墨舟烘箱與普通烘箱本質(zhì)的區(qū)別是防腐性能的不同。石墨舟酸洗浸泡6-8小時，之后進行清水洗，然后用N2或CAD將石墨舟表面水分吹掃，再用石墨舟烘箱進行烘干。所以可想而知石墨舟烘箱的耐腐蝕性能一定要強，否則很容易導(dǎo)至酸性液體滲透至箱體內(nèi)部，造成可挽回的損失。石墨舟烘箱在內(nèi)部材料選擇上也要特殊要求，選擇耐腐蝕性能好的不銹鋼板材，制作工藝上要求技術(shù)成熟，焊縫焊點做好拋光打磨處理。耐普通烘箱一般只要求溫度均勻，結(jié)構(gòu)優(yōu)良，智能操作，便于維修即可，對防腐性能的要求不是很高，所以普能烘箱在生產(chǎn)成本上要比石墨舟烘箱低很多。

石墨舟的維護主要包括以下幾個方面：

清潔和烘干：石墨舟在使用過程中會積累污垢和殘留物，因此需要定期清潔和烘干。清潔石墨舟時，可以使用無腐蝕性的清潔劑，并使用軟毛刷或無絨布進行擦拭。烘干石墨舟時，應(yīng)將其放置在100-120攝氏度的烘箱中烘干10-12小時。
檢查和維修：石墨舟在使用過程中可能會發(fā)生損壞，因此需要定期檢查。檢查時，應(yīng)檢查石墨舟的表面是否有裂紋、磨損或其他損壞。如果發(fā)現(xiàn)損壞，應(yīng)及時維修或更換。
存儲：石墨舟在使用完畢后，應(yīng)存放在干燥、清潔的環(huán)境中。存儲時，應(yīng)將石墨舟放置在水平表面上，并用防塵罩進行保護。

石墨舟是用于半導(dǎo)體制造的一種重要的工具。它由石墨材料制成，用于在各種工藝中承載和傳輸硅片。石墨舟的維護對于確保其正常運行和延長使用壽命至關(guān)重要。

石墨舟是一種以石墨為基材的特種舟皿，具有耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性好、強度高、導(dǎo)電性能等特點。近年來，隨著新材料技術(shù)的不斷發(fā)展，石墨舟在許多領(lǐng)域的應(yīng)用逐漸受到關(guān)注。

干燥箱又名“烘箱”，分為鼓風(fēng)干燥和真空干燥兩種，鼓風(fēng)干燥就是通過循環(huán)風(fēng)機吹出熱風(fēng)，保證箱內(nèi)溫度平衡，真空干燥是采用真空泵將箱內(nèi)的空氣抽出，讓箱內(nèi)大氣壓低于常壓，使產(chǎn)品在一個很干凈的狀態(tài)下做試驗，是一種常用的儀器設(shè)備，主要用來干燥樣品，也可以提供實驗所需的溫度環(huán)境。

使用須知
1、該箱安放在室內(nèi)干燥的地面和工作臺面處，二氧化碳培養(yǎng)箱不必使用其他固定裝置。

2、應(yīng)在供電線路中安裝閘刀或空氣開關(guān)一只，供此箱，并用比電源線截面積粗一倍之導(dǎo)線作接地線。

3、通電前，先檢查本箱的電氣性能，并應(yīng)注意是否有斷路或漏電現(xiàn)象。

4、待一切準備就緒，可放入試品，關(guān)上箱門，干燥箱必要時可旋開排氣閥，空隙約10mm左右。

5、隔水式培養(yǎng)箱，恒溫水浴將蒸餾水或去離子水接至進水口，加水至溢水口為止。