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研究表明,影響氮化鉭薄膜結(jié)合力的主要因素為濺射壓力和加熱溫度,氮分壓比、濺射電流為次要因素;氮分壓對(duì)氮化鉭薄膜的硬度影響較大
氮化鉭為黑色六方結(jié)晶。相對(duì)密度為13.4,熔點(diǎn)為3090℃,顯微硬度為1100kg/mm2,熱導(dǎo)率為9.54W/(m·K),電阻率為128μΩ·cm
用來(lái)制造片狀電阻的材料,氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕
【中文名稱】五氧化二鉭
【英文名稱】tantalic oxide; tantalum pentoxide
【結(jié)構(gòu)或分子式】 Ta2O5
【分子量】 441.89
【密度】8.2g/cm3
【熔點(diǎn)(℃)】1800
【性狀】
白色斜方晶體,菱形柱狀體。
【溶解情況】
溶于熔融硫酸氫鉀和氫氟酸,不溶于水和其他酸。
生產(chǎn)晶書(shū)鉭的原料。也用于電子工業(yè)。供拉鉭酸鋰單晶和制造高折射低色散特種光學(xué)玻璃用,化工中可作催化劑。