TFT-LCD主要的三段制程：
是前段Array
前段部分的Array 制程和半導體制程相似，但是不同的是將薄膜電晶體制作在玻璃之上，而不是矽晶圓上面。
然后是中段Cell
中段部分的Cell ，是以前段的Array玻璃作為基板，和彩色的濾光片玻璃基板相結(jié)合，并且在兩片玻璃基板之間灌入液晶(LC)。
后是后段Module Assembly (模組組裝)
后段模組的組裝制程則是將Cell制程之后的玻璃和其他的如電路、外框、背光板等等多種零組件組裝生產(chǎn)的作業(yè)。

GB 50472-2008 《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》
GB 51136-2015 《薄膜晶體管液晶顯示器工廠設(shè)計規(guī)范》
TFT無塵車間
薄膜晶體管液晶顯示器（TFT-LCD）
TFT-LCD工廠設(shè)計應滿足生產(chǎn)所需要超大空間潔凈環(huán)境的要求。
TFT-LCD 工廠一般由陣列、成盒、彩膜、模組等生產(chǎn)廠房、動力廠房、化學品庫、化學品配送車間、辦公樓等建筑組成。生產(chǎn)廠房、辦公樓、動力廠房之間的人流宜采用連廊進行聯(lián)系。
一、 采暖、通風、空氣凈化
A 潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備和輔助設(shè)備，均應設(shè)局部排風裝置，排
風罩宜為密閉式。
B 排風系統(tǒng)的設(shè)計，應符合下列要求：
1 pecvd 和干法刻蝕設(shè)備的尾氣應設(shè)就地處理裝置；
2 酸、堿、和有機廢氣應分開設(shè)置排風系統(tǒng)，并應設(shè)置備用風機和應急電源；
3 陣列、彩膜、成盒廠房一般排風系統(tǒng)應設(shè)置備用風機；
4 有冷凝液產(chǎn)生的工藝設(shè)備局部排風管宜設(shè)置坡度和排液口，且風管系統(tǒng)應采取
防液體滲漏措施；
5 排風系統(tǒng)的風管應采用內(nèi)涂聚四氟乙烯的不銹鋼板制作；
6 有機排風及應采取防火、防爆措施；
7 酸、堿、有機排風系統(tǒng)不宜設(shè)置防火閥，且不得設(shè)置熔片式防火閥；
8 酸、堿排風系統(tǒng)的風機應設(shè)在廢氣處理設(shè)備的下風側(cè)，有機排風系統(tǒng)如
采用吸附方式處理廢氣，風機宜設(shè)在廢氣處理設(shè)備的上風側(cè)；
9 排風系統(tǒng)的風管應在適當位置設(shè)置透明觀察口，其管內(nèi)風速不應小于10m/s；
10 工藝設(shè)備局部排風系統(tǒng)的室外風管應根據(jù)當?shù)貧庀髼l件設(shè)置防結(jié)露保溫措施；
11 布置在陣列、彩膜、成盒廠房核心生產(chǎn)區(qū)內(nèi)的排風管道，其管內(nèi)風速不應大于12m/s；
12 潔凈室的排風系統(tǒng)應設(shè)置防止室外氣流倒灌的措施。

二、 空氣調(diào)節(jié)與凈化
A、 凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風應集中進行熱、濕、凈化處理，新風處理機組的設(shè)置
應符合下列規(guī)定：
1 送風機應采取變頻措施；
2 空氣應經(jīng)過粗效、中效、過濾器三級處理；
3 陣列、彩膜、成盒廠房應設(shè)置備用新風處理機組；
4 陣列、彩膜、成盒廠房的電機與風機應采用直聯(lián)驅(qū)動方式，且有良好的減振措施；
5 新風的吸入口位置，應遠離排放有害物或可燃物的排氣口；
6 加濕方式宜采用溫水淋水室；
7 應有良好的氣密性，在工作壓力下的漏風率不得大于 1%。
B、 陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室宜采用“新風處理機組+風機過濾器機組+干冷卻
盤管”的凈化空調(diào)系統(tǒng)；模塊和背光源廠房的潔凈室宜采用集中式凈化空調(diào)系統(tǒng)。
C 陣列、彩膜、成盒廠房的潔凈室寬度超過80m 時，宜在寬度方向布置不同阻力的
回風高架地板。
D 風機過濾器機組的設(shè)置應符合下列規(guī)定：
1 應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用；
2 宜采用直流調(diào)速電機；
3 機組應采取消音措施，消音裝置不得采用產(chǎn)塵材料；
4 潔凈度等級為 7～９級的潔凈室（區(qū)）不宜采用聚四氟乙烯濾料的過濾器；
5 應便于安裝、維修及過濾器更換。
E 空調(diào)冷、熱源和水系統(tǒng)的設(shè)置應符合下列規(guī)定：
1 空調(diào)冷媒應采用低溫和中溫冷凍水系統(tǒng)；除新風處理機組的二級冷卻盤管使用
低溫冷凍水外，其余冷卻盤管宜使用中溫冷凍水；
2 干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)宜采用同程式，供水干管的末端應與回水干管間
設(shè)置旁通管；
3 布置在吊頂內(nèi)的干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)管道和布置在下技術(shù)夾層及回
風夾道內(nèi)的干冷卻盤管的中溫冷凍水系統(tǒng)供水干管應保溫；


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